漆昊需要一个成熟的团队来执行他的计划。

    和他之前有过合作的范北教授团队就成了首选。

    鲁达几番思考后，给范北打去了电话。

    “鲁主任，什么事？”

    “范教授，漆教授那边有一个技术...

    会议室里空调的嗡鸣声忽然变得格外清晰，仿佛被拉长了数倍。窗外远处零星的鞭炮声还在断续炸响，可屋内已经没人再听见——所有人的视线都钉在投影幕布上，那张被放大到几乎占满整个屏幕的EUV八镜物镜光路图正泛着冷白微光，十七个标注点像十七颗微型星辰，悬停在每一道反射路径的转折处。

    王阳没动，只是慢慢摘下眼镜，用衬衫下摆擦了擦镜片，又缓缓戴上。他手指关节发白，捏着笔杆的指腹微微颤抖。这不是紧张，是久旱逢甘霖时喉咙深处涌上的那股涩意——太久了。自2004年长光所立项EUV光学系统起，他们试过三镜、四镜、六镜构型；熬过镀膜应力导致的面形塌陷，扛过真空腔体热漂移引发的亚纳米级指向偏移；更在2019年一次关键实验中，因第七面反射镜基底材料内部晶格缺陷，整套光路校准误差突增至3.8纳米，团队三个月没发一篇论文，只默默重磨了七块硅基碳化钨镜坯。

    而此刻，漆昊推导出的界面形貌离散映射法，竟把八镜系统的理论建模复杂度，从O(N2)压到了O(N)。

    “漆教授……”王阳声音有些哑，“您说，这个算法能复现出八镜系统？”

    “不是‘能’。”漆昊端起水杯喝了一口，杯沿留下半个淡青色唇印，“是已经复现了。”

    他敲击键盘，屏幕切换。一行行Matlab代码滑过，随后是三维渲染图：八面非球面反射镜以精确至0.3角秒的姿态悬浮于虚拟真空腔中，每一面镜背侧的致动器阵列正按实时反馈微调形变——这是物理仿真，不是理想模型。接着画面分屏，左半边是ASML最新一代EXE:5200的官方参数表（13.5nm波长、NA=0.55、八镜构型），右半边是漆昊仿真的结果对比：波前误差RMS 0.18nm（ASML标称值0.21nm），MTF在0.8线对/微米处衰减仅12%（ASML为14.7%），最惊人的是热稳定性曲线——在12小时连续曝光模拟中，系统整体漂移量比ASML公开数据低37%。

    寂静持续了整整十二秒。

    柏蕊忽然抬手，指尖在桌面轻轻叩了三下。这是她在中科院物理所主持重大评审时的暗号——代表“立即启动”。

    “李光。”她直视漆昊，“你这组算法，有没有可能绕过现有专利壁垒？”

    “有。”漆昊点头，“ASML核心专利集中在锡液滴光源耦合与多层膜应力补偿工艺，我的优化聚焦在界面形貌动态控制本身。举个例子——”他调出一张对比图：左侧是传统方法中，当Mo/Si交替层在EUV辐照下发生界面原子迁移时，系统强行用压电陶瓷反向抵消形变，导致高频振动噪声；右侧则是他的方案：将界面视为弹性连续介质，引入Fréchet形状导数构建预测模型，在原子迁移发生前0.3纳秒就预设补偿路径。“这相当于给镜子装了神经反射弧，不是被动挨打。”

    黄伟突然拍了下大腿：“我明白了！你们之前卡在哪儿？不是因为做不出八镜，是做出来也活不过两小时！镜面一热，Mo层和Si层膨胀系数差导致界面起皱，皱纹波长刚好落在EUV波段，直接变成散射源！”他猛地转向王阳，“老王，去年你们报废的那批镜坯，是不是都栽在110℃温升后的二次衍射峰上？”

    王阳喉结滚动了一下，没否认。

    “所以漆教授这算法，本质是让镜子学会‘呼吸’？”柏蕊目光灼灼，“在热胀冷缩的节奏里，主动调节界面曲率，把原本破坏性的应力波，转化成可控的相位调制？”

    “对。”漆昊打开另一份文件，“我做了三组极限测试：第一组模拟ASML产线环境（真空度10??Pa，温度波动±0.5℃），第二组模拟国产设备现状（真空度10??Pa，温漂±2℃），第三组……”他顿了顿，“模拟战时应急状态——断电重启后镜面残余应力未释放，直接开机曝光。”

    屏幕上跳出三组数据柱状图。前两组误差值已逼近理论极限，第三组却赫然显示：系统在断电重启后第37秒即完成自校准，首帧图像MTF恢复至标称值的98.4%。

    “这不可能！”一位来自上海微电子的工程师失声，“我们连稳态都难维持，您这还带自愈功能？”

    “不是自愈。”漆昊摇头，“是预置冗余。我在每面反射镜的纳米级形貌参数里，埋入了三套独立的补偿基函数——热致、辐照致、机械振致。当传感器捕捉到异常信号时，系统自动激活对应基函数组合，就像人体免疫系统识别病原体后调用特定抗体。”

    会议桌尽头，一直沉默的李院士突然开口：“漆教授，你这套算法，能不能移植到现有两镜系统上？”

    “能。”漆昊调出长光所2023年发布的两镜原型机参数，“我昨晚用他们的实测数据跑了仿真。如果加装我的界面控制器，现有两镜系统分辨率可从当前12nm提升至8.3nm，且能耗降低41%。但……”他指尖划过屏幕，“这需要重写全部底层驱动固件，并改造真空腔体内的应变传感网络。”

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