王阳点头:“对,跑完仿真我们就能知道这结果到底符不符合要求了。

    这话一出,会议室里瞬间安静下来。

    一众光学领域的资深教授和院士全都神色复杂了起来。

    他们倒不是不愿意相信漆昊,实在是这件事过于离谱。

    四个多月前,漆吴还是个数学和计算机领域的顶尖学者,跟精密光学没什么关系。

    结果现在他用四个多月的时间,就理解了整套光学理论!

    现在还说可以帮助他们复刻国内攻坚多年都没能突破的六镜EUV物镜系统。

    这话怎么听都让人有些犹豫。

    万一跑出的结果不理想,岂不是会伤了漆昊的自尊心?

    李光犹豫着开口了:“漆教授,我必须提前说清楚,咱们的仿真条件有限,跑一套六镜物镜的全局寻优仿真,哪怕简化模型,最少也要两三天。”

    旁边长光所的几位骨干纷纷点头,满脸无奈。

    外人总以为光刻机镜片就是摆位置、调角度,只有他们一线科研人员清楚,六镜系统比女朋友还难哄。

    稍微动一下镜片位置和倾斜角度,整个光路就废了,更不用说工程落地价值。

    王阳说:“漆教授,大家顾虑的不是你的推导,是仿真的落地性,纸面公式再完美,仿真跑不出来,那数学上的结果再完美都不行。”

    漆昊点头,说:“没关系,不管仿真结果如何我都接受。”

    李光最后拍板:“既然如此,那我就回长光所一趟,到时候有了消息通知大家。”

    鲁达这个时候说:“李教授那边跑,黄伟教授那边也验证一下吧,你们双方同时验证,结果更为可靠。”

    黄伟立刻答应了下来。

    其他专家们留在蓉城的原地待命,现在大家的心全都悬了起来,连过年这件事都忘了。

    这场跨越领域的技术突破,最终能不能落地,全要看接下来的仿真结果了。

    当天下午,李光带着漆昊整理的全套六镜物镜位姿、面形、光路参数文件,马不停蹄赶回长春。

    2016年初的长光所,硬件条件已是国内光学领域的顶尖水准。

    李光到了所里后,抽调了组上几个研究员,跟他们说明情况后,研究员们开始行动了。

    有个研究员一边调取仿真模板,一边吐槽:“李教授,往年自研拓扑、微调参数,十次迭代九次踩坑,有些看着波像差数据漂亮,但就是纯纯的纸面数据。”

    “现在您拿来的整套六镜参数,说实话,我心里一点底都没有。”

    李光站在工作站前,严肃说:“怀疑归怀疑,科研只认实证,全程用咱们原本的仿真系统和标准工程流程核验,不做特殊适配,全局寻优、公差扫描、光路遮挡校验、热形变复核,这些一步都不能省。”

    为了保证结果绝对公允,李光考虑后叫停了所有排队等算力的项目,独占了两台顶配工作站全部算力资源。

    团队先按惯例,用软件跑了一遍传统迭代基线,果不其然,熟悉的老问题再度上演,阻尼最小二乘迭代很快锁死局部最优,数据看着合规,可一旦叠加微小位姿扰动,光路瞬间畸变失效,又是典型的好看但不能用的废解。

    一众研究员相视苦笑,觉得自己又白忙了。

    “清空环境,再导入六镜物镜全套参数,启动标准核验仿真。”李光沉声下令。

    工作人员立刻操作,将漆昊算出的M1-M6全部镜片坐标、三轴倾角、非球面系数、补偿参数,完整导入沿用多年的仿真系统。

    随着回车确认,仿真正式启动。

    按照以往的经验,这种级别的六镜全局仿真,起码要隔夜才能看到初步收敛结果,全程漫长且煎熬。

    所以大家都各自去做自己的事情了。

    第二天,李光带着人来看后,所有人都愣住了。

    屏幕上的光路误差、波像差数值,视场均匀度数据,以极快的速度稳步收敛,原本极易出现的光路自遮挡、高阶像差发散、位姿耦合冲突等报错,全程零触发。

    十秒,系统完成光路拓扑自检,无任何异常。

    五十秒,六镜全部位姿参数适配完成,光路框架完全成型。

    九分多钟,高阶球差、彗差、场曲全部校正到位,误差持续走低。

    二十分十八秒,仿真进度条直接拉满,任务结束弹窗弹出。

    整套适配仿真系统的六镜EUV物镜完整数据,此刻正列在了屏幕上!

    此时,实验室没有一个人出声。

    几十秒后,李光终于反应了过来:“愣着干嘛,工作啊!”

    一声令下,大家开始忙了起来,有人连忙翻看运行日志、时间戳、迭代记录,最后确认:“没BUG和数据截断,参数一切正常,全局仿真结果正常!”

    李光来不及震惊,第一时间启动严格的工程复核流程。

    他叫来了团队中的其他成员,说:“各位请注意,接下来的任务十分重要,我需要你们逐镜微调倾角,偏移做扰动测试,蒙特卡洛公差扫描,注意查看叠加多层膜鍍膜误差,镜面微形变补偿以及真空环境应力适配,把所有工

    程落地会遇到的极端工况,全部核验一遍!”

    “是!”

    以往的仿真最优解,但凡叠加一点现实误差,立马作废。

    但江若那套参数,在仿真系统的严苛核验上,依旧照常工作着。

    公差叠加是爆像差,镀膜、形变、环境扰动全部可控,光路有遮挡,有死区,倍率、畸变、波像差RMS(光学系统成像偏离完美理想光路的平均误差值)全部达标,完全满足实际装调的工程标准。

    王阳眼神外藏是出的震撼:“你们......找到真正能落地的八镜最优工程构型了?”

    一些研究员苦笑:“你们靠着那套仿真系统熬了数年,连稳定的初始拓扑都有摸透,李教授,他该是会直接从ASML这外把我们参数拿过来了吧!”

    “去,你没那本事,早就拿了,那是你们的一位专家计算出来的。”

    “他们继续做实验,切记,那件事是能对里透露,你要离开上。”

    众科研人员哪还
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